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  • 半導體器件高低溫測試設備
    半導體器件高低溫測試設備

    半導體器件高低溫測試設備（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。

    更新時間：2024-03-13型號：瀏覽量：870
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