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        半導體器件高低溫測試設備

        半導體器件高低溫測試設備(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置,屬于生產過程中的溫控設備。

        更新時間:2024-03-13型號:瀏覽量:870
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